基恩士推出的形状测量激光显微系统VK-X3000系列,可使用激光共聚焦、聚焦变化、白光干涉等三种不同的扫描原理,根据样品工件的材料、形状和测量范围选择适合的扫描方式,进行高精度测量。一台即可了解希望获取的信息292种分析工具测量软件不仅可以测量高度或尺寸,还能通过多样的分析工具按照用户的想法实现进一步的分析。

产品特点及优势:

  1. 高倍率高精细扫描,最高倍率28800倍,肉眼看不见的微小形状也能以高精细的数据准确捕捉粗糙度

  2. 瞬间扫描大范围,大扫描区域50 mm见方,大的凹凸或手掌大小的物体也可整体扫描,使得整体形状和部分形状皆可掌握

  3. 以高分辨率准确扫描,最高分辨率0.01 nm微小形状也能准确获取支持难以扫描的透明体和镜面体

  4. 最快125 Hz瞬间完成扫描,通过深化感应技术,对X轴、Y轴扫描仪进行特别处理,进一步优化测量进程。不仅可以在保证测量精度的同时进行125 Hz的面测量,还能在瞬间的得到数值和波形的线测量中实现最高7900 Hz 的样品测量

  5. 如实捕捉形状和大小的光学设计,VK-X3000使用连画面边缘都少有失真的远心镜头,可在整个视野内进行高精度测量。因为可以如实捕捉目标物的形状和大小,所以在画面内所以在画面内实现高测量精度

  6. 可获取高可靠性的原始数据,对于捕捉激光反射进行测量的激光显微镜来说,如何接收激光并将其识别为高度信息是十分重要的。VK-X3000采用光电倍增器作为接收激光的元件,成功地以16 bit的高分辨率进行感应

  7. 准确读取反射率不同的复合材料,测量数据以16 bit(65536灰度级)进行处理,以往难以看清的细微的颜色和明暗差异都可以如实地反映出来

  8. 检测焦点位置并瞬间进行自动调整,由于干涉镜头对于反射率低的样品工件干涉信号会变低,所以观察画面难以对焦是一个难点。本次配备了可以高速扫描的激光和高灵敏度的检测器,能够瞬间确定焦点位置,还可自动向Z方向进行调整

测量案例