行业现状

随着终端需求和制造工艺的不断提升，集成电路、新能源、电子制造、面板显示、微机电系统等高端制造领域，不断出现富含不同材料、不同工艺、不同反射率和粗糙度区域，同时又跨微米、亚微米到纳米精度要求的宽动态复杂微纳结构。这些微纳结构的加工质量直接影响相关产品的功能和性能，亟需有效的精密检测方法和仪器，以实现其制造质量控制和工艺分析。但微纳检测领域依赖进口设备，存在成本高、效率低、适用性差、不开放等问题，严重制约国内高端制造产业发展。为解决新材料、新工艺领域的微纳米表征观察分析及非接触式粗糙度分析难题，楚光三维基于全自主“面共焦3D显微成像系统技术”，研制打造出革命性3D显微成像产品——面共焦3D显微传感器、面共焦3D显微镜/轮廓仪。

技术原理

根据宽场显微成像原理，利用结构光照明调制被测物体的表面信息，除去离焦信号干扰，通过垂直轴向扫描得到微观表面3D形貌。同时适用于特征复杂表面（如散射表面）和光滑表面，根据应用场景，可灵活调整Z轴精度覆盖1nm至1μm区间。该技术突破了激光共聚焦、超景深、白光干涉等传统技术及核心零部件壁垒，采用独特面阵光扫描共聚焦技术，带来更高效率、更强大成像能力：

1、跨尺度：可同时兼容微米至纳米级精度。

2、跨材质：可兼容金属/非金属异质表面、透明半透明材质、高反光材质。

3、跨结构：可兼容光滑表面、粗糙表面、缓变曲面、台阶面以及深孔、沟槽、倒金字塔等复杂结构。

产品介绍

AMS系列——新一代桌面式面共焦3D显微镜

1、跨尺度兼容：可兼容高精度模式（最高1nm）和大量程（30mm）、亚微米精度模式。

2、高适应性：可适应光滑表面、复杂表面、金属/非金属异质表面、高反光材质、透明材质。

3、多功能：测粗糙度、翘曲/平整度、三维轮廓、尺寸、XY大视野拼接、表面图像等。

4、低成本维护：采用LED光源，稳定可靠长寿命。

5、开放性：支持原始真彩图及3D点云导出，便于AI分析。

AM系列——全新面共焦3D显微传感器

1、高效率：面阵成像，速度更快。

2、高灵活性：根据应用场景，可灵活配置量程、精度、速度。

3、高适应性：可适应光滑表面、复杂表面、高反光材质、透明材质。

4、易集成：开放性SDK，高度集成的紧凑机身设计，更容易被集成。

5、低成本维护：可远程调参，可远程更新SDK。采用LED光源，稳定可靠寿命长。

转自：楚光三维

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