在芯片制造领域,高精尖的身影无处不在,据说ASML的光刻机就汇集了全球几十种顶级的高精尖技术于一身,其技术垄断性成为了中国芯片半导体产业的一项“软肋”所在。作为很多基础工艺技术和设备的积累结果,显然在这一领域我们无法做到轻松的“弯道超车”。对于像电子半导体和显示器等领域,一般需要通过2D/3D非接触测量的专用设备,用于对基板表面形貌进行2D和3D的混合测量,从而获取准确的各个参数信息,以确保成品或半成品的质量。
而另一方面呢,这类需要尽量采用像机器视觉这样的非接触光学测量方式,才能满足无测量力、无损伤、精度高、易实现在线测量等要求,要知道精密电路板和芯片的“身价”可不低哦。当然,单单检测质量高但速度太慢同样也是不行滴,对BOSS来说,现代化生产的效率就是效益哦。所以,我们的自动化视觉量测系统还要做到快速、高带宽的网络通信和信号传输能力。
这对其中使用的工业相机也就提出了很高的要求,也即是说,面对纳米级精度的2D/3D非接触式检测,相机必须在达到极高的图像质量的同时做到较高的帧率。现在堡盟公司推出的VLXT-50M.I相机正好是理想之选。
VLXT-50M.I相机搭载Sony Pregius CMOS传感器,500万像素时帧率高达163 fps,出众的图像质量,信噪比(SNR)高达44dB(像元尺寸为4.5µm),10 GigE Vision万兆网接口,数据传输带宽高达1.1 GB/s(千兆网相机的10倍)保证更快更大容量图像数据的传输。此外,该机型的可靠性设计保证即便在苛刻的工况下也能轻松实现稳定的图像分析。