背景知识
在半导体制造的精密链条中,IC托盘作为晶圆与芯片的“运输铠甲”,其结构完整性直接决定了器件的安全。加强筋作为其核心承重结构,通过蜂窝状、格栅式等设计实现“刚柔并济” 的防护效果,它的安装缺陷还可能导致基板凸点产生异物、桥接等问题,最终引发管芯键合短路。
而3D工业相机以其三维数据采集能力、强抗干扰性与智能分析功能,彻底解决了IC托盘加强筋检测的行业痛点。从避免单块晶圆报废的直接效益,到优化全流程工艺的长期价值,3D 视觉技术已成为半导体智能制造中不可或缺的 “精度标尺”,未来更将在先进封装的质控体系中发挥核心支撑作用。
相机选型
今天为大家介绍的是翌视科技LVM3000系列相机中的新品LVM3040线激光3D相机在半导体行业中的应用案例!LVM30403D智能传感器,其全画幅采集速率600Hz,通过设置ROI最高可达10000Hz;轻松应对高速动态场景;重复精度可达3μm,细节无遗漏,能满足高精度工业检测需求。
检测项目
·检测需求:IC托盘内加强筋有无
·产品信息:黑色注塑件
·相机精度:成像清晰,无噪点
检测环境及安装方式
·扫描方式:相机固定,测试样件沿中心直线运动进行扫描测量
·触发方式:采用编码器触发,输出稳定的AB相差分信号
·通信方式:TCP/IP以太网
图像效果
图像效果一
图像效果二
图像效果三
图像效果四
图像效果五
检测结论
·此方案成像效果较为完整,特征图像清晰,通过LVM3040 3D智能相机,满足客户检测要求,关键位置无数据缺失,无噪点。
·本次测试理论最大速度可达60mm/s
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